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“有了刘老板你提供的光刻机样机和详细图纸,我们的研发进度还是非常快的。
光刻机十大部件,分别是工作台、激光器、光束矫正器、能量控制器、光束形状调整器、遮光器、能量探测器、掩膜台、物镜、封闭框架减震器。
其中的工作台、激光器、遮光器、掩膜台、封闭框架减震器五个部件已经制作完成,且通过了验收。
剩余的五个部件,也正在研发的过程中,相信再有三四个月,就能制作出测试样机,半年到一年之后,就能正式量产。”
听到量产还需要至少半年的时间,刘焱不由皱了皱眉头,问道:
“尚未完成的五个部件,是碰到了什么难以解决的难题了吗,怎么需要这么长的时间?”
廉安平教授无奈的摊摊手,说道:
“问题是有,难题算不上。刘老板看过图纸,应该知道,光刻机内部需要很多的玻璃透镜,对加工精度的要求非常高,达到了百纳米级。
按照欧米或东瀛的加工方式,这些透镜需要使用四轴以上的数控加工中心,或专用的数控磨床加工出来。
可是咱们国内,数控机床都没几台,更别说这种高精度数控加工中心或数控磨床了。
为了制作这些玻璃透镜,我们从凤凰光学公司找来两位八级钳工老师傅,他们能凭借丰富的经验,手工打磨出符合要求的透镜,只是需要的时间比较长。”
刘焱沉思一会儿,说道:
“只靠人工磨制透镜,也不是办法,效率实在太低了。加工这种玻璃透镜,需要什么型号的数控加工中心,五轴的够不够,加工精度需要达到多少?”
廉安平教授有些疑惑的看向刘焱,问道:
“刘老板问这个干什么,难道你能买来高精度五轴加工中心?如果真有那种机械加工神器,制作玻璃透镜,还不是分分钟的事情。只是五轴加工中心的售价非常昂贵,西方管制的也严格,很难搞到国内来。”
刘焱点点头,说道:
“我有一些门路,应该能买到符合要求的数控加工中心,廉教授只要把相关设备的型号告诉我就可以。”
廉安平双眼一亮,面露狂喜之色,说道:
“真的,那可太好了!我这就把机床型号写给你,这十几种数控机床,买到任何一台都能解决透镜加工问题。如果能买到最后这两种五轴数控加工中心中的任意一台,我有把握,在一年之内,将光刻机的加工精度,推进到0.55微米。”
说着,廉安平教授拿出一张白纸,在上面一口气写下十几个机床品牌和型号,然后在最后两个型号的机床上画了一个圈。
刘焱从廉平安教授手里接过白纸,看了一下上面被圈起来的两个机床品牌,一个是D国的D马吉,一个是东瀛的M扎克。这两个在后世大名顶顶的机床品牌,在八十年代初,就已经初露峥嵘了。
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